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発塵防止・クリーン冷却排気 |
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クリーン排気ユニット |
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半導体・液晶製造工場で、続々と採用決定
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クリーンルーム内で使用される制御盤・コンベア・自動機などの機器からの発塵を
積極的に防止する、当社オリジナルの機器組込用クリーンユニットです。
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PAT.PENDING |
≧0.3μｍ 99.99％ ≧0.1μｍ 99.95％ |
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100□サイズのクリーン排気ユニット |
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