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 エアフィルタ
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ULPAフィルタ |
=ULPA（Ultra Low Penetoration Airfilter）フィルタ |
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0.15μmの粒子に対して99.999％以上の捕集率を有するもので、
半導体の生産工場の様な高い清浄度が要求されるクリーンルームや
生産装置等に使用される超高性能フィルタ。
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HEPAフィルタ |
=HEPA（High
Efficiency Particulate Airfilter）フィルタ |
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0.3μmの粒子に対して99.97％以上の捕集率を有するもので
空気清浄が要求されるあらゆる分野で使用される高性能フィルタ。
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MEPAフィルタ |
=中性能/MEPA（Medium Efficiency Particulate
Airfilter）フィルタ |
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主に空調系の外気処理に使用されるもので
メインフィルタとして使用するだけでなく、ULPAフィルタや
HEPAフィルタの保護として使用する場合もある。
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特殊フィルタ |
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高温雰囲気中で使用可能なULPA・HEPAフィルタや、
臭い・ガスの除去に用いる活性炭フィルタ。
ULPA・HEPAの前置きフィルタとして使用されるプレフィルタ・HEPA・中性能フィルタ等の
取付を容易にする取付枠。
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